無(wú)論是實(shí)驗(yàn)室制得的氣體、還是鋼瓶中的氣體，在使用之前都必須預(yù)先純化以除去痕量其他氣體雜質(zhì)。并需要防止塵埃污染和吸濕。高純氣體污染主要發(fā)生在貯藏、運(yùn)輸和計(jì)量的過(guò)程中。保持高純氣體的質(zhì)量的關(guān)鍵是謹(jǐn)慎處理高純氣體。在實(shí)際工作中，要使高純氣體不受污染，需要有許多嚴(yán)格的控制措施，在條件許可的實(shí)驗(yàn)室都應(yīng)設(shè)置專用的貯氣室，將氧化性氣體與還原性氣體分開放置，將可燃性氣體與不可燃?xì)怏w分開放置，以防止意外爆炸事故發(fā)生。在使用高純氣體時(shí)，為保證高純氣體不受污染或?qū)⑽廴緶p少到最低程度，應(yīng)注意下列問(wèn)題。

　　選用合適的壓力調(diào)節(jié)閥和傳輸管道壓力調(diào)節(jié)閥要求。嚴(yán)密不漏氣，輸出壓力穩(wěn)定；調(diào)節(jié)閥與氣體接觸部分的構(gòu)件具有耐腐蝕性；在閥內(nèi)或管道內(nèi)配備過(guò)濾器（如燒結(jié)金屬過(guò)濾器或微孔過(guò)濾系統(tǒng)），以便濾除微粒，減低顆粒物質(zhì)在高純氣體中的含量。

　　傳輸管道應(yīng)盡可能采用潔凈的金屬管如不銹鋼或聚四氟乙烯管。管子安裝只能用聚四氟乙烯扎帶。

　　嚴(yán)格清洗氣體傳輸系統(tǒng)的各組成部分，必須事先用合適的去油脂溶劑如三氯乙烯清洗管道等部件上的微粒、油污、吸附物、水分等。各部件組裝后在使用這這前，應(yīng)抽空并用惰性氣體如干燥的氮?dú)鈦?lái)吹洗用以除去水氣等雜質(zhì)。限定氣瓶的使用的最低壓力，因?yàn)樵诟邏合職怏w中的雜質(zhì)可能吸附在氣瓶?jī)?nèi)壁上，而當(dāng)氣瓶壓力下降時(shí)，被吸附在內(nèi)壁上的雜質(zhì)會(huì)解吸下來(lái)，因而，應(yīng)限定氣瓶最低的使用壓力。

　　在使用過(guò)程中，要經(jīng)常檢查氣瓶和傳輸系統(tǒng)的密閉性，若發(fā)現(xiàn)漏氣，應(yīng)及時(shí)采取措施。

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